Системи за хлађење течног азота се широко користе у индустрији полуводича и чипова, укључујући процес,
- Технологија епитаксије молекуларне греде (МБЕ)
- Тест чипа после пакета ЦОБ
Сродни производи
Вакуумски изоловани серија цеви
Вакуумски изолирани флексибилни црево серије
Динамички систем за усисавање вакуумског пумпа
Вакуумски изоловани серија сепаратора фазе
Вакуумски изоловани вентил серије
Опрема за подршку цевовода
Молекуларна зграда Епитаксија
Технологија епитаксије молекуларне греде (МБЕ) развијена је 1950-их да би се припремила танки филмски материјали полуводича користећи технологију испаравања вакуумског испаравања. Са развојем ултра-високе вакуумске технологије, примена технологије је проширена на област полуводичке науке.
ХЛ је приметио захтев МБЕ течног азотног система за хлађење азота, организовану техничку окосницу да успешно развије посебне МБЕ течне азотне системске системе за МБЕ технологију и комплетан сет вакуумског изолираног система цевовода, који је коришћен у многим предузећима и истраживачким институтима.
Уобичајени проблеми индустрије полуводичког и чипа укључују,
- Притисак течног азота у терминалну (МБЕ) опрему. Спречите преоптерећење притиска од оштећења терминалне (МБЕ) опреме.
- Вишеслојне криогене контроле уноса и излаза за течност
- Температура течног азота у терминалну опрему
- Разумна количина криогених емисија гаса
- (Аутоматско) пребацивање главних и филијала линија
- Подешавање притиска (смањење) и стабилност ВИП-а
- Чишћење могућих нечистоћа и остатака леда из резервоара
- Време пуњења терминалне течне опреме
- Нафтов прехлађење
- Течни отпор у ВИП систему
- Контролишите губитак течног азота током дисконтинуиране услуге система
ХЛ-ова вакуумска изолована цев (ВИП) је уграђена за АСМЕ Б31.3 Кодекс под притиском као стандард. Инжењерска искуства и способност контроле квалитета да се осигура ефикасност и економичност постројења купца.
Решења
ХЛ криогена опрема пружа купцима са вакуумски изолираним цевоводством да испуне захтеве и услове индустрије полуводича и чипова:
1. Систем управљања управљањем: АСМЕ Б31.3 Код цеви за притисак.
2.а специјални фазни сепаратор са више криогених уноса и утичнице са функцијом аутоматске контроле испуњава захтев емисије гаса, рециклираног течног азота и температуре течног азота.
3.Адекуате и благовремени дизајн испуха осигурава да терминална опрема увек ради у оквиру дизајниране вредности притиска.
4. ГРАД-течна баријера смештена је у вертикалној ВИ цеви на крају ВИ нафтовода. Гасна баријера користи принцип гасног затварача да блокира топлоту од краја ВИ цевовода у ВИ цевовод и ефикасно смањи губитак течног азота током дисконтинуиране и повремене услуге система.
5.Ви цевоводи које контролише серија вакуумског изолираног вентила (вив): укључујући вакуумски изоловани вентил за искључивање, вакуумски изолирани провјерени вентил, вакуумски изолирани регулациони вентил итд. Различити типови ВИВ-а могу бити модуларни комбиновани како би контролисали вип по потреби. Вив је интегрисан са ВИП префабрицијом у произвођачу, без изолираног третмана на лицу места. Јединица заптивача ВИВ може се лако заменити. (ХЛ прихвата криогени вентил који је означен од стране купаца, а затим врши вакуумски изоловани вентили ХЛ. Неке марке и модели вентила можда неће моћи да се праве у вакуумски изоловани вентили.)
6. Клевеност, ако постоје додатни захтеви за чистоћу у унутрашњој цеви. Предлаже се да купци бирају БА или ЕП и нехрђајуће цеви од нехрђајућег челика као ВИП унутрашње цеви да додатно смање просипање нерђајућег челика.
7.Вакуум изолирани филтер: Очистите могуће нечистоће и остатке од резервоара.
8. Посетите неколико дана или дужег искључивања или одржавања, веома је неопходно за припрему ВИ цевоводна и терминална опрема пре уноса криогене течности, како би се избегло ледене шљаке након што Цриогенична течност директно уђе у ВИ цевовод и терминалну опрему. Прекоплолска функција треба размотрити у дизајну. Омогућава бољу заштиту за терминалну опрему и ВИ опрему за подршку цевоводи као што су вентили.
9.суит и за динамичан и статички вакуумски изоловани (флексибилан) систем цевовода.
10.Динамички вакуумски изолиран (флексибилан) цевоводство: састоји се од ВИ флексибилних црева и / или ВИ цев, црева од скакача, вакуумски изоловани систем вентила, фаза сепаратора и динамичког система вакуумске пумпе (укључујући вакуумске пумпе и вакуумске мераче и вакуумске мераче и вакуумске мераке и вакуумске мераче и вакуумске мераче и вакуумски мерили и вакуумски мерили и вакуумски мерили и вакуумски мерили и вакуумски мерили и вакуумски мерили и вакуумски мерили и вакуумски мерили и вакуумски мерили и вакуумски мерили и вакуумски мерили и вакуумски мерили и вакуумски мерили и вакуумским системима и вакуумским системима и вакуумским системом и вакуумским мерачима). Дужина појединачних ВИ флексибилног црева може се прилагодити у складу са захтевима корисника.
11.Варни типови везе: Вакуум бајонет веза (ВБЦ) могу се одабрати тип и заварена веза. ВБЦ тип не треба изоловани на лицу места.
