Системи за хлађење течним азотом се широко користе у индустрији полупроводника и чипова, укључујући процес,
- Технологија молекуларно-снопне епитаксе (MBE)
- Тест чипа након COB пакета
Повезани производи
Серија вакуумски изолованих цеви
Серија флексибилних црева са вакуумском изолацијом
Динамички систем вакуум пумпе
Серија вакуумски изолованих фазних сепаратора
Серија вакуумски изолованих вентила
Опрема за подршку цевоводних система
МОЛЕКУЛАРНА СНОПНА ЕПИТАКСИЈА
Технологија молекуларне епитаксе снопа (MBE) развијена је педесетих година прошлог века за припрему танкослојних полупроводничких материјала коришћењем технологије вакуумског испаравања. Са развојем технологије ултрависоког вакуума, примена технологије је проширена на област полупроводничке науке.
ХЛ је приметио потражњу за МБЕ системом за хлађење течним азотом, организовао техничку окосницу за успешан развој специјалног МБЕ система за хлађење течним азотом за МБЕ технологију и комплетног сета вакуумски изолованих цевоводних система, који се користи у многим предузећима, универзитетима и истраживачким институтима.
Уобичајени проблеми индустрије полупроводника и чипова укључују:
- Притисак течног азота у терминалној (MBE) опреми. Спречите преоптерећење притиском од оштећења терминалне (MBE) опреме.
- Вишеструке контроле улаза и излаза криогене течности
- Температура течног азота у терминалној опреми
- Разумна количина криогених емисија гасова
- (Аутоматско) пребацивање главних и споредних линија
- Подешавање притиска (смањење) и стабилност ВИП-а
- Чишћење резервоара од могућих нечистоћа и остатака леда
- Време пуњења опреме за течност терминала
- Претхлађење цевовода
- Отпорност на течност у ВИП систему
- Контролишите губитак течног азота током дисконтинуираног рада система
HL-ова вакуумски изолована цев (VIP) је израђена према стандарду ASME B31.3 за цевоводе под притиском. Инжењерско искуство и способност контроле квалитета осигуравају ефикасност и исплативост постројења купца.
РЕШЕЊА
HL Cryogenic Equipment пружа купцима систем вакуумски изолованих цеви како би испунио захтеве и услове индустрије полупроводника и чипова:
1. Систем управљања квалитетом: ASME B31.3 Кодекс за цевоводе под притиском.
2. Специјални фазни сепаратор са вишеструким криогеним улазом и излазом за течност са функцијом аутоматске контроле испуњава захтеве емисије гасова, рециклираног течног азота и температуре течног азота.
3. Адекватан и благовремен дизајн издувних гасова осигурава да терминална опрема увек ради унутар пројектоване вредности притиска.
4. Гасно-течна баријера се поставља у вертикалну VI цев на крају VI цевовода. Гасно-течна баријера користи принцип гасног заптивања да блокира топлоту са краја VI цевовода у VI цев и ефикасно смањује губитак течног азота током дисконтинуираног и повременог рада система.
5.VI Цевовод контролисан серијом вакуумски изолованих вентила (VIV): Укључујући вакуумски изоловани (пнеуматски) запорни вентил, вакуумски изоловани неповратни вентил, вакуумски изоловани регулациони вентил итд. Различити типови VIV-а могу се модуларно комбиновати за контролу VIP-а по потреби. VIV је интегрисан са VIP префабриковањем у произвођачу, без изолационе обраде на лицу места. Заптивна јединица VIV-а се може лако заменити. (HL прихвата марку криогених вентила коју одреде купци, а затим HL производи вакуумски изоловане вентиле. Неки брендови и модели вентила можда неће моћи да се направе као вакуумски изоловане вентиле.)
6. Чистоћа, ако постоје додатни захтеви за чистоћу површине унутрашње цеви. Препоручује се да купци изаберу цеви од нерђајућег челика BA или EP као VIP унутрашње цеви како би се додатно смањило просипање нерђајућег челика.
7. Вакуумски изоловани филтер: Очистите резервоар од могућих нечистоћа и остатака леда.
8. Након неколико дана или дужег застоја или одржавања, веома је неопходно претходно охладити VI цеви и терминалну опрему пре уласка криогене течности, како би се избегло стварање ледене згуре након што криогена течност директно уђе у VI цеви и терминалну опрему. Функцију претходног хлађења треба узети у обзир приликом пројектовања. Она пружа бољу заштиту терминалне опреме и помоћне опреме VI цеви, као што су вентили.
9. Одело за динамичке и статичке вакуумски изоловане (флексибилне) цевоводне системе.
10. Динамички вакуумски изоловани (флексибилни) систем цеви: Састоји се од VI флексибилних црева и/или VI цеви, спојних црева, система вакуумски изолованих вентила, фазних сепаратора и система динамичке вакуумске пумпе (укључујући вакуумске пумпе, соленоидне вентиле и вакуумске мераче итд.). Дужина једног VI флексибилног црева може се прилагодити захтевима корисника.
11. Различите врсте прикључака: Могу се одабрати тип вакуумског бајонетног прикључка (VBC) и заварени прикључак. VBC тип не захтева изолациони третман на лицу места.
