Системи за хлађење течним азотом се широко користе у индустрији полупроводника и чипова, укључујући процесе,
- Технологија епитаксије молекуларним снопом (МБЕ)
- Тест чипа након ЦОБ пакета
Повезани производи
Вакуумско изоловане цеви серије
Серија флексибилних црева са вакумском изолацијом
Систем динамичке вакуумске пумпе
Вакуумски изоловани сепаратор фаза
Серија вентила са вакумском изолацијом
Опрема за подршку система цевовода
ЕПИТАКСИЈА МОЛЕКУЛАРНОГ ЗРАКА
Технологија молекуларне епитаксије (МБЕ) развијена је 1950-их за припрему полупроводничких танкослојних материјала коришћењем технологије вакуумског испаравања. Са развојем технологије ултра-високог вакуума, примена технологије је проширена и на област науке о полупроводницима.
ХЛ је приметио потражњу МБЕ система за хлађење течним азотом, организоване техничке окоснице за успешан развој специјалног МБЕ система за хлађење течним азотом за МБЕ технологију и комплетног сета вакуумско изолованог система цевовода, који се користи у многим предузећима, универзитетима и истраживачким институтима. .
Уобичајени проблеми индустрије полупроводника и чипова укључују:
- Притисак течног азота у терминалну (МБЕ) опрему. Спречите преоптерећење притиска због оштећења терминалне (МБЕ) опреме.
- Вишеструке контроле улаза и излаза за криогену течност
- Температура течног азота у терминалној опреми
- Разумна количина емисија криогених гасова
- (Аутоматско) Пребацивање главних и гранских линија
- Подешавање притиска (смањење) и стабилност ВИП-а
- Чишћење могућих нечистоћа и остатака леда из резервоара
- Време пуњења терминалне течне опреме
- Предхлађење цевовода
- Отпорност на течност у ВИП систему
- Контролишите губитак течног азота током непрекидног рада система
ХЛ-ова цев са вакуумском изолацијом (ВИП) је стандардно направљена према АСМЕ Б31.3 коду за цеви под притиском. Инжењерско искуство и способност контроле квалитета како би се осигурала ефикасност и исплативост постројења купца.
РЕШЕЊА
ХЛ цриогениц Екуипмент обезбеђује купцима вакуумски изоловани цевовод који испуњава захтеве и услове индустрије полупроводника и чипова:
1. Систем управљања квалитетом: АСМЕ Б31.3 Код цевовода под притиском.
2. Специјални сепаратор фаза са вишеструким улазом и излазом за криогену течност са функцијом аутоматске контроле испуњава захтеве емисије гаса, рециклираног течног азота и температуре течног азота.
3. Адекватан и благовремен дизајн издувних гасова обезбеђује да терминална опрема увек ради у оквиру пројектоване вредности притиска.
4. Преграда за гас и течност се поставља у вертикалну ВИ цев на крају ВИ цевовода. Гас-течност Барриер користи принцип гасног заптивања да блокира топлоту са краја ВИ цевовода у ВИ цевовод и ефикасно смањи губитак течног азота током испрекиданог и повременог рада система.
5.ВИ Цевоводи које контролише серија вентила са вакумском изолацијом (ВИВ): Укључујући вакуумски изоловани (пнеуматски) запорни вентил, вакуумски изоловани неповратни вентил, вакуумски изоловани регулациони вентил итд. Различити типови ВИВ могу бити модуларни комбиновани да контролишу ВИП као потребно. ВИВ је интегрисан са ВИП префабрикацијом у произвођачу, без изоловане обраде на лицу места. Заптивна јединица ВИВ-а може се лако заменити. (ХЛ прихвата марку криогених вентила коју су одредили купци, а затим производи вентиле са вакумском изолацијом од стране ХЛ. Неки брендови и модели вентила можда неће моћи да се направе у вентиле са вакуумском изолацијом.)
6.Чистоћа, ако постоје додатни захтеви за чистоћу унутрашње цеви. Предлаже се да купци изаберу БА или ЕП цеви од нерђајућег челика као ВИП унутрашње цеви како би се додатно смањило просипање нерђајућег челика.
7.Вакумски изоловани филтер: Очистите могуће нечистоће и остатке леда из резервоара.
8. После неколико дана или дужег гашења или одржавања, веома је неопходно претходно охладити ВИ цевовод и терминалну опрему пре него што уђе криогена течност, како би се избегла ледена шљака након што криогена течност директно уђе у ВИ цевовод и терминалну опрему. Функцију претходног хлађења треба узети у обзир у дизајну. Пружа бољу заштиту терминалне опреме и опреме за подршку ВИ цевовода као што су вентили.
9. Одело за динамички и статички изоловани (флексибилни) систем цевовода.
10. Динамички вакуумски изоловани (флексибилни) систем цевовода: Састоји се од ВИ флексибилних црева и/или ВИ цеви, краткоспојних црева, система вентила са вакумском изолацијом, сепаратора фаза и система динамичких вакуум пумпи (укључујући вакуум пумпе, електромагнетне вентиле и вакуум мераче итд. ). Дужина једног ВИ флексибилног црева може се прилагодити према захтевима корисника.
11. Различити типови прикључка: Вакуумски бајонет прикључак (ВБЦ) тип и заварени спој се могу изабрати. ВБЦ типу није потребан изолован третман на лицу места.
