Технологија
Епитаксија молекуларним снопом, или МБЕ, је нова техника за узгој висококвалитетних танких филмова кристала на кристалним подлогама. У условима ултра-високог вакуума, пећ за грејање је опремљена свим врстама потребних компоненти и ствара пару, кроз рупе настале након колимирања атомског или молекуларног снопа, директно убризгавање до одговарајуће температуре монокристалне подлоге, контролишући молекуларни сноп до истовремено скенирајући супстрат, може да направи молекуле или атоме у слојевима поравнања кристала да формирају танак филм на "расту" супстрата.
За нормалан рад МБЕ опреме, потребно је да се течни азот високе чистоће, ниског притиска и ултра-чистог азота континуирано и стабилно транспортује у расхладну комору опреме. Генерално, резервоар који обезбеђује течни азот има излазни притисак између 0,3 МПа и 0,8 МПа. Течни азот на -196 ℃ се лако испарава у азот током транспорта цевоводом. Када се течни азот са односом гас-течност од око 1:700 гасификује у цевоводу, он ће заузети велику количину простора за проток течног азота и смањити нормалан проток на крају цевовода за течни азот. Поред тога, у резервоару за складиштење течног азота вероватно ће бити остатака који нису очишћени. У цевоводу течног азота, постојање влажног ваздуха такође ће довести до стварања ледене шљаке. Ако се ове нечистоће испуштају у опрему, то ће проузроковати непредвидљива оштећења опреме.
Стога се течни азот у резервоару за складиштење на отвореном транспортује до МБЕ опреме у радионици без прашине са високом ефикасношћу, стабилношћу и чистоћом, а ниским притиском, без азота, без нечистоћа, 24 сата непрекидно, такав систем контроле транспорта је квалификовани производ.
Одговарајућа МБЕ опрема
Од 2005. године ХЛ Криогенска опрема (ХЛ ЦРИО) оптимизује и унапређује овај систем и сарађује са међународним произвођачима МБЕ опреме. Произвођачи МБЕ опреме, укључујући ДЦА, РЕБЕР, имају кооперативне односе са нашом компанијом. Произвођачи МБЕ опреме, укључујући ДЦА и РЕБЕР, сарађивали су у великом броју пројеката.
Рибер СА је водећи глобални добављач производа епитаксије молекуларним снопом (МБЕ) и сродних услуга за истраживање сложених полупроводника и индустријске примене. Рибер МБЕ уређај може да нанесе веома танке слојеве материјала на подлогу, са веома високим контролама. Вакум опрема ХЛ Криогенске опреме (ХЛ ЦРИО) опремљена је Рибер СА Највећа опрема је Рибер 6000, а најмања Цомпацт 21. У добром је стању и препозната је од стране купаца.
ДЦА је водећи светски оксид МБЕ. Од 1993. године спроводи се систематски развој техника оксидације, загревања антиоксидативних супстрата и извора антиоксиданата. Из тог разлога, многе водеће лабораторије су изабрале ДЦА оксидну технологију. Композитни полупроводнички МБЕ системи се користе широм света. ВЈ систем за циркулацију течног азота ХЛ криогене опреме (ХЛ ЦРИО) и МБЕ опрема више модела ДЦА имају одговарајуће искуство у многим пројектима, као што су модел П600, Р450, СГЦ800 итд.
Табела перформанси
Шангајски институт за техничку физику, Кинеска академија наука |
11. Институт Кинеске корпорације за електронску технологију |
Институт за полупроводнике Кинеске академије наука |
Хуавеи |
Алибаба ДАМО академија |
Повертецх Тецхнологи Инц. |
Делта Елецтроницс Инц. |
Сузхоу Евербригхт Пхотоницс |
Време објаве: 26.05.2021