Пројекат чип МБЕ завршен у протеклим годинама

Технологија

Молекуларно-снопна епитаксија, или МБЕ, је нова техника за узгој висококвалитетних танких филмова кристала на кристалним подлогама. У условима ултрависоког вакуума, помоћу грејне пећи опремљене свим потребним компонентама генерише се пара. Кроз рупе формиране након колимације атомског или молекуларног снопа, директно се убризгава атомски или молекуларни сноп на одговарајућу температуру монокристалне подлоге, контролишући молекуларни сноп који скенира подлогу, што може довести до „раста“ молекула или атома у слојевима кристала и формирања танког филма на подлози.

За нормалан рад MBE опреме, потребно је да се течни азот високе чистоће, ниског притиска и ултрачистог квалитета континуирано и стабилно транспортује до расхладне коморе опреме. Генерално, резервоар који обезбеђује течни азот има излазни притисак између 0,3 MPa и 0,8 MPa. Течни азот на -196℃ лако испарава у азот током транспорта цевоводом. Када се течни азот са односом гаса и течности од око 1:700 гасификује у цевоводу, он ће заузети велику количину простора за проток течног азота и смањити нормалан проток на крају цевовода за течни азот. Поред тога, у резервоару за складиштење течног азота вероватно ће бити остатака који нису очишћени. У цевоводу за течни азот, присуство влажног ваздуха ће такође довести до стварања ледене згуре. Ако се ове нечистоће испусте у опрему, то ће изазвати непредвидива оштећења опреме.

Стога се течни азот у спољашњем резервоару транспортује до МБЕ опреме у радионици без прашине са високом ефикасношћу, стабилношћу и чистоћом, а низак притисак, без азота, без нечистоћа, 24 сата непрекидно, такав систем контроле транспорта је квалификован производ.

тцм (4)
тцм (1)
тцм (3)

Одговарајућа MBE опрема

Од 2005. године, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) оптимизује и унапређује овај систем и сарађује са међународним произвођачима MBE опреме. Произвођачи MBE опреме, укључујући DCA, REBER, имају сарадничке односе са нашом компанијом. Произвођачи MBE опреме, укључујући DCA и REBER, сарађивали су у великом броју пројеката.

Рибер СА је водећи светски добављач производа за молекуларно-зрачну епитаксију (MBE) и сродних услуга за истраживање полупроводничких једињења и индустријске примене. Риберов MBE уређај може да наноси веома танке слојеве материјала на подлогу, уз веома високе контроле. Вакуумска опрема компаније HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) опремљена је Рибер СА уређајем. Највећа опрема је Рибер 6000, а најмања је Compact 21. У добром је стању и купци су је препознали.

DCA је водећа светска оксидна MBE. Од 1993. године спроводи се систематски развој техника оксидације, загревања антиоксидативних супстрата и извора антиоксиданата. Из тог разлога, многе водеће лабораторије су изабрале DCA оксидну технологију. Композитни полупроводнички MBE системи се користе широм света. VJ систем за циркулацију течног азота компаније HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) и MBE опрема више модела DCA имају подударно искуство у многим пројектима, као што су модели P600, R450, SGC800 итд.

тцм (2)

Табела перформанси

Шангајски институт за техничку физику, Кинеска академија наука
11. институт Кинеске корпорације за електронску технологију
Институт за полупроводнике, Кинеска академија наука
Хуавеј
Алибаба ДАМО академија
Пауертек Технолоџи Инк.
Делта Електроникс Инк.
Суџоу Евербрајт Фотоникс

Време објаве: 26. мај 2021.

Оставите своју поруку