Кратак преглед молекуларно-зрачне епитаксе (MBE)
Технологија молекуларне епитаксе снопа (MBE) развијена је педесетих година прошлог века за припрему танкослојних полупроводничких материјала коришћењем технологије вакуумског испаравања. Са развојем технологије ултрависоког вакуума, примена технологије је проширена на област полупроводничке науке.
Мотивација истраживања полупроводничких материјала је потражња за новим уређајима, који могу побољшати перформансе система. Заузврат, нова технологија материјала може произвести нову опрему и нову технологију. Молекуларно-снопна епитаксија (MBE) је технологија високог вакуума за раст епитаксијалног слоја (обично полупроводника). Користи топлотни сноп изворних атома или молекула који утичу на монокристалну подлогу. Карактеристике ултра-високог вакуума процеса омогућавају метализацију и раст изолационих материјала in situ на новоизраслим полупроводничким површинама, што резултира интерфејсима без загађења.
МБЕ технологија
Молекуларно-снопна епитаксија је спроведена у високом вакууму или ултрависоком вакууму (1 x 10-8Па) окружење. Најважнији аспект молекуларно-снопне епитаксе је њена ниска брзина таложења, која обично омогућава филму да епитаксијално расте брзином мањом од 3000 nm на сат. Тако ниска брзина таложења захтева довољно висок вакуум да би се постигао исти ниво чистоће као и код других метода таложења.
Да би се постигао горе описани ултрависоки вакуум, MBE уређај (Кнудсенова ћелија) има слој за хлађење, а ултрависоки вакуум у комори за раст мора се одржавати помоћу система за циркулацију течног азота. Течни азот хлади унутрашњу температуру уређаја на 77 Келвина (−196 °C). Нискотемпературно окружење може додатно смањити садржај нечистоћа у вакууму и обезбедити боље услове за таложење танких филмова. Стога је за MBE опрему потребан посебан систем за циркулацију хлађења течним азотом како би се обезбедило континуирано и стабилно снабдевање течним азотом на -196 °C.
Систем за циркулацију хлађења течним азотом
Систем за циркулацију вакуумског течног азота углавном укључује,
● криогени резервоар
● главна и грана вакуумски обложена цев / вакуумски обложено црево
● MBE специјални фазни сепаратор и вакуумски обложена издувна цев
● разни вакуумски обложени вентили
● гасно-течна баријера
● вакуумски филтер са облогом
● динамички систем вакуум пумпе
● Систем за претходно хлађење и прочишћавање, поновно загревање
Компанија HL Cryogenic Equipment је приметила потражњу за MBE системом за хлађење течним азотом, организовала је техничку окосницу за успешан развој специјалног MBE система за хлађење течним азотом за MBE технологију и комплетног сета вакуумске изолације.edсистем цевовода, који се користи у многим предузећима, универзитетима и истраживачким институтима.
HL криогена опрема
Компанија HL Cryogenic Equipment, основана 1992. године, је бренд повезан са компанијом Chengdu Holy Cryogenic Equipment у Кини. HL Cryogenic Equipment је посвећена пројектовању и производњи система криогених цеви изолованих под високим вакуумом и пратеће опреме.
За више информација, посетите званичну веб страницуwww.hlcryo.comили имејлом наinfo@cdholy.com.
Време објаве: 06. мај 2021.
