КРАТАК ОФ МОЛЕЦУЛАРНА БЕЈА ЕПИТАКСИ (МБЕ)
Технологија епитаксије молекуларне греде (МБЕ) развијена је 1950-их да би се припремила танки филмски материјали полуводича користећи технологију испаравања вакуумског испаравања. Са развојем ултра-високе вакуумске технологије, примена технологије је проширена на област полуводичке науке.
Мотивација истраживања полуводичких материјала је потражња за новим уређајима, што може побољшати перформансе система. Заузврат, нова материјална технологија може произвести нову опрему и нову технологију. Молекуларна епитаксија (МБЕ) је висока вакуумска технологија за раст епитаксијалног слоја (обично полуводичка). Користи топлотну греду изворних атома или молекула који утичу на јединствену кристалну подлогу. Ултра високе вакуумске карактеристике процеса омогућавају ин ситу металилизацију и раст изолационих материјала на новорасним полуводичким површинама, што резултира интерфејсима без загађења.
МБЕ технологија
Епитакпија молекуларне греде извршена је у високом вакууму или ултра-високом вакууму (1 к 10-8ПА) Околина. Најважнији аспект епитаксије молекуларне греде је његова ниска таложна стопа, која обично омогућава филм Епитаксијалном расту брзином мање од 3000 нм на сат. Таква мала стопа таложења захтева довољно високог вакуума за постизање истог нивоа чистоће као и друге методе за таложење.
Да би се задовољила горе описана ултра високог вакуума, уређај МБЕ (Кнудсен ћелија) има слој за хлађење, а ултра-високог вакуумска окружења коморе за раст мора се одржавати помоћу течног циркулационог система азота. Течни азот хлади унутрашњу температуру уређаја на 77 Келвина (-196 ° Ц). Околина ниског температуре може даље смањити садржај нечистоћа у вакууму и пружа боље услове за танки филмови. Стога је потребан наменски систем циркулације за хлађење течног азота да би се опрема МБЕ обезбедила непрекидна и стална понуда -196 ° Ц течни азот.
Систем циркулације течног азота
Укључује вакуум течни циркулациони систем за циркулацију азота углавном укључује,
● Цриогени резервоар
● Главна и филијала вакуумска кошница / усисно црево за усисавање
● МБЕ Специјални фазни сепаратор и вакуумска исцрпљена цев
● Различити вентили за усисавање
● ГАС-течна баријера
● Филтер за усисиваче
● Динамички систем за вакуум пумп
● Прекопорозовани и чишћење система загревања
Компанија ХЛ криогене опреме приметила је потражњу МБЕ течног система за хлађење азота, организовану техничку кичму да би успешно развила посебну МБЕ течни систем за косовање азота за МБЕ технологију и комплетан сет вакуумског изолатаedСистем цевовода који се користи у многим предузећима, универзитетима и истраживачким институтима.
ХЛ криогена опрема
ХЛ криогену опрему која је основана 1992. године је бренд повезан у Цхенгду свети кришну опрему у Кини. ХЛ криогена опрема је посвећена дизајну и производњи високих вакуумског изолираног криогеног цевовода и сродне опреме за подршку.
За више информација посетите званичну веб страницуввв.хлцрио.цом, или е-маил наinfo@cdholy.com.
Вријеме поште: мај-06-2021
