Кратак преглед епитаксије молекуларним снопом (МБЕ)
Технологија молекуларне епитаксије (МБЕ) развијена је 1950-их за припрему полупроводничких танкослојних материјала коришћењем технологије вакуумског испаравања. Са развојем технологије ултра-високог вакуума, примена технологије је проширена и на област науке о полупроводницима.
Мотивација истраживања полупроводничких материјала је потражња за новим уређајима, који могу побољшати перформансе система. Заузврат, нова технологија материјала може произвести нову опрему и нову технологију. Епитаксија молекуларним снопом (МБЕ) је технологија високог вакуума за раст епитаксијалног слоја (обично полупроводника). Користи топлотни сноп изворних атома или молекула који утичу на монокристални супстрат. Ултра-високе вакуумске карактеристике процеса омогућавају ин ситу метализацију и раст изолационих материјала на новоизраслим површинама полупроводника, што резултира интерфејсима без загађења.
МБЕ Тецхнологи
Епитаксија молекуларним снопом изведена је у високом вакууму или ултра-високом вакууму (1 к 10-8Па) околина. Најважнији аспект епитаксије молекуларним снопом је њена ниска стопа таложења, која обично омогућава епитаксијско раст филма брзином мањом од 3000 нм на сат. Тако ниска стопа таложења захтева довољно висок вакуум да би се постигао исти ниво чистоће као и друге методе таложења.
Да би се задовољио горе описани ултра-високи вакуум, МБЕ уређај (Кнудсенова ћелија) има слој за хлађење, а окружење ултра високог вакуума у комори за раст мора да се одржава коришћењем система за циркулацију течног азота. Течни азот хлади унутрашњу температуру уређаја на 77 Келвина (-196 °Ц). Окружење ниске температуре може додатно смањити садржај нечистоћа у вакууму и обезбедити боље услове за таложење танких филмова. Због тога је потребан наменски циркулациони систем за хлађење течним азотом да би МБЕ опрема обезбедила континуирано и стабилно снабдевање течним азотом од -196 °Ц.
Циркулациони систем за хлађење течним азотом
Систем циркулације вакуумског течног азота углавном укључује,
● криогени резервоар
● главна и грана цев са вакумским омотачем / црево са вакумским омотачем
● МБЕ сепаратор специјалних фаза и издувна цев са вакумским омотом
● разни вентили са вакумским омотачем
● баријера гас-течност
● филтер са вакумским омотачем
● систем динамичке вакуум пумпе
● Систем претходног хлађења и поновног загревања прочишћавањем
Компанија ХЛ Цриогениц Екуипмент је приметила потражњу МБЕ система за хлађење течним азотом, организоване техничке окоснице за успешан развој специјалног МБЕ система за хлађење течним азотом за МБЕ технологију и комплетан сет вакуум изолатораedсистем цевовода, који се користи у многим предузећима, универзитетима и истраживачким институтима.
ХЛ криогена опрема
ХЛ Цриогениц Екуипмент који је основан 1992. је бренд повезан са Цхенгду Холи Цриогениц Екуипмент Цомпани у Кини. ХЛ Цриогениц Екуипмент је посвећен дизајну и производњи система криогених цеви са изолацијом високог вакуума и пратеће опреме за подршку.
За више информација посетите званичну веб страницуввв.хлцрио.цом, или е-поштом наinfo@cdholy.com.
Време поста: 06.05.2021
